穿过制造中心入口的风淋系统，整条产线映入眼帘，一台台设备完成装配调试后，输送至各集成电路先进产线，参与“中国芯”制造。
“它们可是‘中国芯’制造的关键一环！”中国电科下属电科装备北京烁科中科信公司党支部书记、总经理李进指着生产线说，这是我们自主研制的国产离子注入机，是集成电路领域的关键设备。
“在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素，按预定方式改变材料的电性能。这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。”李进解释。
“它的工作原理是通过电磁场控制高速运动的离子，按照工艺要求的角度及深度以精准完成注入。”李进说，这个难度，不亚于以飞机飞行的速度完成一次侧方位停车。技术总师彭立波连忙补充：“这‘家伙’专业性强、涉及学科多、精密化程度高，极其复杂。”
2.5万个零部件要7×24小时密切配合，让束流时刻保持着特定的高能量，精准地注入硅片的指定区域，不能有一丝卡顿……而这些，还只是离子注入机工程化的“基础套餐”。
集成电路产线上要比实验室的情况复杂得多，要实现极端严苛的要求，科研团队只能一个关卡接一个关卡地闯，其中有一项是实现高温注入——这是集成电路领域的先进工艺之一，需要连续突破关键部件研制及注入工艺达标两项难关，此前在国内无成功研制先例，是半导体制造领域的典型难题。
“时间紧，任务重，我们常常为了实现一个指标，反复验证计算。”李进说，前前后后对整个温控流程进行数十次仿真验证，最终实现了在目标温度下，设备仍能对晶圆均匀吸附，且能够保障高效稳定的传输目标，这项技术已在集成电路产线上得到成功验证。
这就要说到当前芯片应用领域中覆盖面最广的制程——28纳米，这也是离子注入机必须打通的工艺节点。
“28纳米是注入工序中需求最多及生命周期最长的节点，对注入角度、注入剂量精度有严格要求。注入期间，设备软硬件要紧密配合，需根据不同注入区域实时对注入剂量进行调整，稍有偏颇，良率将达不到产线要求。”李进说。
可喜的是，科研团队已连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，并实现28纳米工艺全覆盖，保障了“中国芯”的生产制造！
【院士的答案】如何让作物“扛住”逆境？——专访植物病理学家、中国工程院院士康振生
从今天起，我们不妨每天给孩子留出30分钟，让他们把第一个“为什么”写下来；不妨对孩子说一句“这个问题真有意思，一起找答案”；不妨在课堂上把“解题步骤”暂时收起，让学生先猜、先试，让好奇心重新成为我们最闪耀的指南针。
这个秋天，北京航空航天大学的一批新生将开启一段独特的学习旅程：从大二开始，他们将亲手参与设计一架低空飞行器，直至它真正试飞升空。想象一下，课堂上学到的公式和图纸，几年后竟能化作低空飞行器飞向蓝天，多么振奋人心！这不是科幻电影，而是北航在全国率先开设的“低空技术与工程”专业推出的“项目制人才培养”线
时代浪潮奔涌，技术创新日新月异，国家发展对高素质应用型人才的需求比以往任何时候都更为迫切。由“中国制造”迈向“中国智造”，从关键技术的突破到现代产业体系的构建，处处都需要既掌握扎实理论知识，又具备卓越实践能力的青年英才。
辽中凹陷位于渤海北部海域，平均水深22米。探井JZ27-6-3井钻遇油气层57.4米，完钻井深1925米。经测试，该井日产原油约500吨，日产天然气约2万立方米。
2025年全国古树名木保护科普宣传周活动29日在广州启动。记者从启动仪式上获悉，为进一步加强古树名木保护，我国已启动第三次全国古树名木资源普查，并严格落实《古树名木保护条例》，按照“一树一策”“一群一策”原则，持续推进科学保护管理，推动古树名木高水平保护和高质量发展。
当科研人员在各自领域里突飞猛进时，科幻创作需要正视专业壁垒与认知鸿沟，更重要的是寻找方法跨越鸿沟。
健全大联合、广协同、全覆盖、共建共治共享的国家科普体系，全面构筑新时代国家科普能力
2025年世界新能源汽车大会27日在海南海口开幕。大会以“产业变革与可持续发展”为主题，策划了18场会议、2场闭门会议、技术展览、科技评选和系列科普活动。
国家“十四五”规划重点工程——青藏直流二期扩建工程28日正式投运，可将青海与西藏之间的输电能力提高一倍，达到120万千瓦，对于提高西藏电力供应保障能力，促进清洁能源大范围优化配置，服务建设新型电力系统具有重要意义。
第五届世界生物圈保护区大会发布标志性成果文件——为共建地球生命共同体贡献中国力量
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“我们要做轻量化，就是要做轻量化生态，要建设轻量化生态系统。”在2025（第十八届）汽车轻量化大会（以下简称“大会”）上，北汽福田欧曼事业部研发中心底盘系统高级主任工程师兼公司轻量化负责人李军代表公司获得“汽车轻量化创新成果大赛卓越成果奖”，展现了中国商用车轻量化技术的最新突破。
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